本实用新型公开了一种基于运动控制和机器视觉的自动化平面阻抗测量装置,包括外壳、基座、夹具和移动检测组件,夹具包括夹具底板、磁铁及压片;所述移动检测组件设置有两组,每组所述移动检测组件均包括XYZ轴移动平台和检测单元,所述检测单元包括摄像头座、摄像头和探针测具,所述探针测具包括探针夹持座和探针。本实用新型的XYZ轴移动平台可以带动探针沿X、Y和Z轴移动,摄像头同时扫描探针在铜箔平面上的测试坐标是否准确,因此自动化程度和扫描效率都比较高,而且通过探针测具对平面铜箔进行阻抗测试,采取探针检测结合摄像头视觉纠偏的方法,可以保障测试精度及测试效率。
